快科技2月5日消息,3D NAND闪存的设计和制造非常依赖存储单元堆叠,由此可以大幅增加存储密度与容量,降低成本。 最近,来自Lam Research、科罗拉多 ...
3D NAND光刻胶产品简介 3D NAND光刻胶是一种特殊类型的光刻胶材料,用于制造 3D NAND闪存的光刻工艺。KrF是光刻中常用的光源(波长248 nm),用于在半导体制造工艺中较小的节点(通常低于 ...